蒸镀生产线
产品特点
真空过渡分为1000Pa、1Pa、10-4Pa三级，异于10Pa、10-4Pa两级模式，最大优化罗茨泵在1000Pa~1Pa的抽气效率，降低设备低真空段的泵组配置，减少设备能耗节约成本。
采用低温泵在镀膜前进行样片运送时水汽的收集，抽气效率高，对设备场地湿度要求降低，减少生产建设投资。
线性源采用一体化加热及模块化坩埚拼接设计，坩埚个体尺寸小具有极小的热变形，坩埚位置可调节具有镀膜均匀性调节的作用。
技术参数 | |
|---|---|
| 设备型号 | ZDX-300（600、1200） |
| 极限真空 | 8×10-5Pa |
| 腔室功能分类 | 进、出样室（1000Pa） |
| 低真空过渡室（1Pa） | |
| 高真空过渡室（5×10-4Pa） | |
| 蒸镀室（5×10-4Pa） | |
| 蒸发源类型 | 线性源：室温~700℃，水冷 |
| 蒸发距离 | 120~300mm |
技术参数 | |
|---|---|
| 样品幅宽 | 300、600、1200mm |
| 常用蒸发材料 | C60、BCP、LiF、PbI2、CsBr、Cu等 |
| 镀膜节拍 | ≥60s |
| 连续运行时间 | ≥300h |
| ≥50h（C60、1A/s） | |
| 膜厚均匀性 | ≤±5% |
| 镀膜速率稳定性 | ≤±0.1A/s |
| 镀膜时样品温度 | ≤60℃ |
技术优势 |
|---|
| 针对电子传输层（C60）蒸发镀膜设备 |
| 针对C60蒸发材料吸附氧、水汽对蒸镀稳定性的影响，在镀膜室进行预蒸发处理、深冷收集等处理，提高C60蒸镀温度稳定性，延长连续镀膜时间。 |
| 线性源根据C60特性，蒸发口采用不遮挡方式，蒸发速率更快、减少冷凝载体面积、稳定性更好。 |
技术优势 |
|---|
| 针对钙钛矿层共蒸发镀膜设备 |
| 兼容2-3源共蒸发 |
| 共蒸发源具有2种工作模式，同步混合镀膜，分层交替镀膜，针对不同材料的物理特性具有更好的兼容性和共蒸发效果。 |
| 线性源mask具有多孔、狭缝、宽缝等多样化结构方式，针对不同材料的物理特性能够分别解决：样品降温、减少mask冷凝、蒸发效率调控、发散角调控等问题。 |
